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討論串[請益] 請教有關真空的問題
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#3
Re: [請益] 請教有關真空的問題
推噓0(0推 0噓 0→)留言0則，0人參與, 最新作者saram (saram)時間18年前 (2008/02/22 22:02), 編輯資訊
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半導體業幾乎不用油幫浦, 大多使用乾式幫浦.. 也不用油擴散幫浦, 以防止油氣分子回流到腔體, 汙染了. 被鍍物體. 目前高真空抽氣階段使用冷凍幫浦, 離子幫浦.. --. ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc). ◆ From: 125.229.46.96.
#2
Re: [請益] 請教有關真空的問題
推噓0(0推 0噓 0→)留言0則，0人參與, 最新作者paullai (保羅)時間18年前 (2008/01/28 10:21), 編輯資訊
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腔體、幫浦、管線、O-ring。. 通常會先用oil rotary vane, Roots, Dry van, Scroll, Diaphram等等把腔體初抽. 抽到大約數mtorr，接著再視要抽到多少壓力的order，決定使用Diffusion, Turbo,. Ion & Ti Sublimat
#1
[請益] 請教有關真空的問題
推噓0(0推 0噓 0→)留言0則，0人參與, 最新作者chafe (追風的呆子)時間18年前 (2008/01/27 21:09), 編輯資訊
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1.真空系統包含哪些部分? 如何動作?. 2.半導體設備常用的抽氣幫浦有幾種? 如何動作?. 請專長大大簡單介紹一下, 感謝!!. --. ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc). ◆ From: 122.123.1.232.
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