[問題] via 打在gate 上與cmp製程的關係?已刪文
目前任職layout 工程師1年半多
剛剛聽前輩講到一個rule
ex:0.5um 0.6um製程技術
via over gate forbidden
請問這個是在早期的製程技術才會發生嗎?
或是CMP製程後就沒有這個限制了?
聽說會影響mos開關的東西
想請教懂製程也做過layout 的前輩
一直以為digital layout 是高度畫小 drc lvs pass
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噓
08/03 12:13,
4年前
, 1F
08/03 12:13, 1F
→
08/03 12:38,
4年前
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08/03 12:38, 2F
※ 編輯: andyping (111.248.21.151 臺灣), 08/03/2021 12:39:40