[請益] 音頻量測

看板Electronics作者 (好累)時間7年前 (2018/08/05 15:01), 7年前編輯推噓4(4推 0噓 13→)
留言17則, 5人參與, 7年前最新討論串1/1
客戶丟給我一個project請我評估能不能做 問題如下 某晶圓廠洗滌製程後段 需要把wafer 用物理式方式弄乾 故用旋轉方式 類似圖書館推車排書方式 一片一片立起來放進一個圓柱型腔體 800-1000rpm轉速去run 8-10min 只是在run的過程中wafer有時會因為高速 而脫離原本位置導致與腔體壁碰撞而碎裂去影響到其他好的wafer 客戶想用音頻監控方式去監測是否有異常狀況 1.正常旋轉下音頻就是固定 2.有異常音頻會突然變異 再透過傅利葉轉換得到波型 想請教板友們這該如何下手？ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 42.77.78.124 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Electronics/M.1533452485.A.2B8.html
推
08/05 15:07, 7年前 , 1F
也不知道是磁波還是音波 不過不舒服的時候 耳朵內的高
08/05 15:07, 1F
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08/05 15:07, 7年前 , 2F
音確實聽起來不一樣
08/05 15:07, 2F
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08/05 15:07, 7年前 , 3F
也不知道是不是心理影響
08/05 15:07, 3F
會用一個sensor貼在chamber wall去量測 只是這樣抓到的音頻不曉得如何去定義 這可能要由客戶端去抓了 ※ 編輯: cyclohexene (42.77.78.124), 08/05/2018 15:16:32
推
08/06 13:01, 7年前 , 4F
你有在FB問過?
08/06 13:01, 4F
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08/06 13:02, 7年前 , 5F
認錯了，好像不太依樣@@
08/06 13:02, 5F
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08/06 17:55, 7年前 , 6F
重量會不會比較好抓? 碎掉就變輕了，而且腔體加大避免反
08/06 17:55, 6F
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08/06 17:55, 7年前 , 7F
彈這樣會不會比較快
08/06 17:55, 7F
推
08/07 02:23, 7年前 , 8F
音頻可以做啊,只是成本問題...
08/07 02:23, 8F
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08/07 02:23, 7年前 , 9F
然後還有判斷問題...
08/07 02:23, 9F
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08/07 02:24, 7年前 , 10F
(當然如果只是要監測到,不管哪片立刻停下來不難就是XD)
08/07 02:24, 10F
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08/07 02:26, 7年前 , 11F
之前好像有人比較過貼sensor和架麥克風收音,麥克風收音
08/07 02:26, 11F
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08/07 02:26, 7年前 , 12F
好很多(但成本也同時上升很多XDDD)
08/07 02:26, 12F
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08/07 02:28, 7年前 , 13F
幹嘛不用加速規或光學方法去看XD 客戶這麼愛用音頻哦?
08/07 02:28, 13F
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08/07 02:29, 7年前 , 14F
不然上面HiJ大的重量也不錯啊~~~XDDD
08/07 02:29, 14F
加速規跟配合廠商討論過是一個選項 光學方式...因為sensor沒辦法裝在chamber 內 光學理論上無法 音頻是客戶提出來的阿XDDDD 重量....這倒是沒想過 再跟客戶討論看看！ ※ 編輯: cyclohexene (42.77.252.153), 08/07/2018 19:31:39
推
08/07 20:08, 7年前 , 15F
換卡匣不太可能，這和"蘿蔔特"綑綁了。光學可能比音頻
08/07 20:08, 15F
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08/07 20:08, 7年前 , 16F
簡單點。做在外面，對卡匣。晶圓算小了，看過面板的spin
08/07 20:08, 16F
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08/07 20:08, 7年前 , 17F
table才叫震撼。
08/07 20:08, 17F
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