[問題] 離子佈植

看板Electronics作者pttbonfire (總是被墊假的)時間9年前 (2016/12/29 18:12)推噓0(0推 0噓 0→)

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在半導體製程離子佈植時 ,為什麼打入的是正離子還是可以形成N-type, 例如使用AsH3氣體,用電將打出As正離子(As原子是5族元素),在打入矽中, 為什麼還是可以形成N-type,不是已經少一個價電子了嗎? -- Sent from my Windows -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 36.233.115.46 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Electronics/M.1483006331.A.2F9.html

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