[問題] TCAD模擬FinFET出現負電容
想請教一下
我在使用TCAD去模擬單一FinFET的時候
發現我的Ggd與Cgs皆為負值
同時很奇怪的是Csg與Cdg也皆為負值
想請問一下我模擬是出現了什麼問題嗎
或者是我應該怎麼去解讀這個電容為負值的情形
謝謝
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