[問題] TSMC90nm MIM layout問題

看板Electronics作者 (學不會)時間11年前 (2015/02/28 16:56), 11年前編輯推噓1(1推 0噓 9→)
留言10則, 3人參與, 最新討論串1/1
因為沒有MIM電容的cell可以直接叫 因此想自己畫一個MIM來用 但現在遇到一些問題，想請問一下 我照之前0.18um的經驗畫了一個MIM 基本上0.18um只有CTM，而90nm多了CBM這個 因此我就照了0.18的畫法 M8當作bottom metal，M9當作top metal，且各自都加上了CBM及CTM 裡面用M8 via連接，然後最外層也框上綠色的CTMdummy 跑完DRC可以過 但是跑LVS時候，出現問題 http://ppt.cc/DygL 找不到top節點，不確定是不是還漏畫了一些層呢? (去定義他是一個MIM的capacitor) layout的話pin點都有打上 netlist檔就簡單敘述，然後subckt包起來而已 C1 top bot 1pF 想請問知道MIM大概怎麼畫 或是有經驗的板友能夠指點我一下 謝謝!! -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 59.105.105.243 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Electronics/M.1425113798.A.D54.html
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只要是lvs report裡面有waring說我的這個cell
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他M8M9層是short circuit 因此不知道是否漏畫了東西
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推
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裡面用M8 via連接??
03/02 08:44, 3F
因為我是看.18um他M5跟M6有用via連接 因此把90的M8M9 via也畫上去 不過剛剛把via remove掉 就只剩下一個instance C1錯 感覺他似乎還是不認定我畫的是一個MIM的cap cell ※ 編輯: Goodgybank (140.113.169.128), 03/02/2015 20:08:14
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03/02 21:12, , 4F
.18畫via56是要把CTM連到M6，不是把M5和M6接在一起
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所以MIM用的via 跟一般metal用的via是不同的?Y
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但我找了一下 好像沒有其他Via能畫 也沒Via89這東西
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這是.18的結構，via是一樣的，只是因為有CTM這層金屬夾
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在中間，所以不是M5接M6。
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03/03 16:36, , 10F
左側示意圖則是一般的M5接M6
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