[問題] 想請教半導體設備的製程相關問題

看板Electronics作者justtoothick (負八)時間11年前 (2015/01/12 12:03)推噓4(4推 0噓 5→)

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想請教一下半導體設備達人小弟我現在就職於以turbo pump維修為主的公司客戶大部分都是半導體廠，目前知道的部門有TF,DIFFUSION, ETCH, CVD 從他們公司來的pump常常會有很多製程物沉積在上面想請問這些沉積物主要可以分為哪幾種呢?(可以從顏色或其他特徵來區分嗎?) 那半導廠在保養機台的時候，是否有特定的溶劑去對機台進行清理呢? 有的話是哪些溶劑呢?(應該不同製程有對應不同的溶劑吧?!) 希望知道的大大可以分享一下謝謝 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 219.80.66.91 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Electronics/M.1421035424.A.85E.html

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