[問題] 0.18um MiM電容問題
小弟最近要晶片下線
使用的是TSMC 0.18um製程
在寫Tapeout Review Form文件中
裡面有一項是這樣問
6-1-5 對稱電容的單位面積是否一致?
單位電容面積多大? um x um
單位電容值多大? pF
小弟使用的是MiM電容,長寬均為19.29um,電容值大小為0.4p
所以我這些部分應該是要填
1.是, 2. 19.29 um x 19.29 um, 3. 0.4p
因為我是實驗室第一個下0.18um製程
所以來板上問各位有經驗的版友
感謝
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.130.21.106
推
02/20 21:21, , 1F
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