[問題] MIM電容 VS MOM電容

看板Electronics作者 (angela)時間12年前 (2013/12/10 23:56), 編輯推噓5(5推 0噓 5→)
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各位先進好 想請教各位關於MIM 及MOM電容的問題 目前我只知道MIM在製造過程需多一層額外的mask(較耗成本?) 在類比及RF電路上較常使用 相反的MOM電容常用在數位電路 我的問題是: Q1:若考慮單位面積下的電容值,MIM 還是 MOM比較大呢? Q2:若考慮電容matching的問題,是否MOM matching 優於MIM呢? 煩請各位先進指點一下了,非常感謝!! -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 49.159.189.245
推
12/11 04:31, , 1F
Q1:MIM單位容值大很多
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Q2:matching的問題 正常來說是容值越大matching會越好
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推
12/11 18:27, , 3F
Q1 : MIM 換MOM 就是用面積去換少一層Cap Top Metal
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Q2 : 單位電容的Cap值做大一點 , 加Dummy應該差不多
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Q1:高階製程使用多層metal當MOM應該density也不小。
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Q2: 鑒於MoM matching model常常會因畫法不同而不同，但
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以10bit SAR ADC所用電容來說，量測起來matching似乎差不
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多...
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12/12 02:48, , 9F
我覺得MOM還不錯
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12/13 22:37, , 10F
rogerham 癡博快拜
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