[請益] salicide 製程
我想請問一下,
有沒有人有做過 aluminum silicide or hafnium silicide的製程 ?
(因這方面的文獻數量較少,大部份都是Ti,W..等silicide的製程)
因為最近老師希望我們能做這方面的東西,
故想請叫一下關於在鍍完鋁之後,
接下來有無溫度參數的部份 ?? (Ex: RTP溫度及時間, 或是否要做兩次RTP..等)
可供我們做為參考!!
謝謝,感激不盡~
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.218.110