[問題] TSMC18um : MOM電容

看板Electronics作者 (爆炸一哥)時間11年前 (2012/10/30 02:05), 編輯推噓4(4推 0噓 4→)
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最近在設計SAR ADC遇到一些問題 有一些比較前瞻的設計是使用MOM(metal-on-metal)電容取代MIM電容 如此一來可以減輕前級電路的負載(pre-amplifier or buffer) 現在使用的製程是TSMC18um 1P6M的製程 畫MOM電容不是問題,但是目前找不太到萃取電容值的方法 希望對Layout有比較深入研究的版友可以給予一些意見 謝謝~ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 61.60.254.39
推
10/30 02:35, , 1F
同樣的loading cap為何MOM可以更好？
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10/30 05:31, , 2F
應該說MIM的最小容值是20fF MOM可以做到5fF以下 在不影響
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ADC的效能 cap array(SH&DAC)單位容值當然是越小越好
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前級電路推的負載相對就輕很多
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旁邊掛個電阻就好了
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10/30 21:42, , 6F
metal-oxide-metal
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11/03 20:42, , 7F
想請教一下 在什麼文件上有說最小電容只能到20fF
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11/03 20:42, , 8F
怕自己忘了查閱該文件 而畫錯
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