[問題] 晶圓的"均勻加熱"要怎麼搜相關資料?
"晶圓的加熱中 不同的點位上
稍微些許的溫度誤差便有可能造成翹曲現象
所以加熱器的控制中 要如何達到均勻加熱是重要的課題"
這是大部分有關晶圓和加熱器等相關paper會提到的觀點
可是最主要的重點 如何去偵測溫度的差異以及控制加熱器達到均勻加熱的目的
看了許多相關paper都沒有提及這部份的資料@@
這部份的內容都只是稍微帶過而已= =
有試過用一些關鍵字去找paper
像是"均勻加熱" "平均加熱" "heating uniformly"..等等
可是得到的也都只是像文章開頭那樣說"均勻加熱很重要"..等稍微提及的內容而已
只是想瞭解"如何去偵測溫度的差異以及控制加熱器達到均勻加熱的目的"等相關知識
是我的關鍵字用錯還是哪些觀念出問題呢?
麻煩較懂這塊領域的人可否指點一下 感激不盡
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