[問題] MOSFET一些電性參數計算

看板Electronics作者 (The Lost Lamb)時間13年前 (2012/06/12 09:04), 編輯推噓1(102)
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一般MOSFET掃過Vgs以後就可以得到一些電性參數, 像: 場效遷移率(mobility)μ 轉導係數Gm等等. MOSFET通道的電流為: W 1 2 Ids = μCox-[(Vgs-Vth)Vds--Vds] L 2 ______ 假設我今天在Vds=0.1V下掃Vgs ↑ 所以這一項夠小把它忽略掉變成: W Ids = μCox-(Vgs-Vth)Vds L 所以固定Vds掃完Vgs後 Ids Vgs Vth Vds都有數值, W/L元件參數也為已知, Cox單位電容為ε/t, t氧化層厚度也為樣品參數已知, ε=εoεr, (εo真空介電常數: 8.85x10^-12 F/m) 今天我的氧化層是Si02 所以我可以查表找出εr(無單位)帶回, 這樣我的單位變成: F 1   2 I = μ‧-‧-‧1‧V m m 2 μ的單位是 m / V‧s, 所以數值直接帶回因次...對嘛? 例如我今天在Vds=0.1V下掃Vgs 在Vgs=1V時我的Ids=1.8x10^-7A W/L為15/4, 氧化層厚度為300nm Vth為-1V 所以數值帶回 3.9x8.85x10^-12F/m 15 1.8x10^-7A=μ‧——————————‧—‧(1-(-1)V)‧0.1V 300x10^-9m 4 -3 2 2 所以μ=2.086x10 m / V‧s= 20.86 cm / V‧s 這樣計算對嗎? 所以我在計算元件的遷移率帶不同的Vgs值我的遷移率就不盡相同吧...? 那這樣文獻上常說元件的遷移率是多少所帶的Vgs或其他電壓有一定的定義嘛~ 還是數量級差不多大家都不態計較 另外想問ε介電係數國內有沒有地方可以查, 像是國科會中研院教育部這類機構, 因為每種材料ε各個網站都不盡相同, 當然有些ε會因材料幾何尺寸有關所以各個網站不同也正常, 只是想問國內有沒有網站資料比較完備可以查~ 再來如果我有了遷移率μ, 接著求轉導Gm: δIds ∣ W Gm=———∣ = —μ‧Cox‧Vds δVgs ∣Vds=const. L 只要將數值分別帶入應該就ok了吧?! 最後一個次臨界擺幅(Subthreshold swing, SS) δVgs ∣ SS=—————∣ δlog(Ids)∣?? <= 條件是min嘛 所以求法是我去把取semi-log的數據Vgs-log(Ids)做微分, 然後得到最小的值就是我的SS嘛? 我知道這些問題好像蠻基本的, 不過以前沒啥在碰FET, 查課本都是在算一些小訊號分析為主, 問有些實驗室的 他們都一台semiconductor analyzer參數設一下, 訊號掃一下這些值都有, 所以想來這邊請益一下! 我手邊p幣不多, 如果有幫忙解答到的就送個100P(稅前)作答謝囉~ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 125.230.92.159 ※ 編輯: cd20124 來自: 125.230.92.159 (06/12 09:07)

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公式基本上只是方便手算而已,製程越先進,就誤差越大
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其實我也沒要很精確的值, 只是別人樣品有量過這些
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我們來拿接著量, 至少要確定這些參數沒跑掉才能接著下去
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