[問題] 蝕刻PZT但不蝕刻Nitride

看板Electronics作者 (Lara)時間14年前 (2012/03/29 18:40), 編輯推噓0(0推 0噓 1→)
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大家好 我想問板上的各位 做MEMS的製程碰到的問題 現今想找一種濕蝕刻的溶劑 可以蝕刻PZT但又讓它不去吃Nitride的溶劑 不知道板上有無解? 謝謝 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 180.217.73.107
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03/29 23:25, , 1F
你的Nitride不能用photoresist罩起來嗎?
03/29 23:25, 1F
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