[問題] MOCVD的加熱技術
想請問一下
有機金屬化學氣相沉積法(metal organic chemical-vapor deposition, MOCVD)
此技術中 用來加熱晶圓的加熱方式是哪種呢?
我自己查到的相關資料以及在別版問到的答案都是高頻的感應加熱
線圈通過電流 以電磁感應產生渦電流 再經過skin effect等使表面溫度急速上升..等
查到的都是類似這樣的加熱技術
可是我們老師卻認為只是一般的電阻式加熱 不用到感應加熱什麼的這麼麻煩
不過我猜可能是各種加熱的方式都能用?
可能只在效率或是可作用範圍的差別而已? 是嗎?
想問這兩種可作用的溫度範圍分別落在哪? 差異有很大嗎?
又現今比較主流的加熱方式是哪種呢? 其他還有更多不同且常用的方式嗎?
謝謝
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