[問題] SEM原理

看板Electronics作者 (那年夏天的回憶錄)時間15年前 (2010/10/17 21:39), 編輯推噓0(0推 0噓 0→)
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最近翻閱了SEM的原理 裡面提到SEM試片要求必須是導體 否則應該在表面鍍上一層金 又強調不可是液體或膠狀物質 我們公司有在使用CD-SEM 可是CD-SEM卻可用來觀察晶圓上的光阻影像 光阻是液體狀的，也不導電 卻不要求需是導體或鍍上一層金 這是為甚麼呢 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 61.216.201.7
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