Re: [問題]Why dummy fingers placed in both side …
※ 引述《erthe4 (er)》之銘言:
: 小弟自修類比IC 我閱讀Martin's analog integrated circuit design中提到
: 使用resistor必須要在外部增加2 dummy fingers for the proximity/same environment
: 這一點小地感到疑惑 為什麼要dummy fingers可以確保proximity?
底下的推文已經提到重點了。
在曝光/顯影/蝕刻時,你並不知道兩旁的finger在經過這些製程之後,是不是跟中間
的一樣。如果不是,那整條電阻值就會有異動,特別是用在需要精準的電路設計
如,能隙參考電路(band-gap reference circuit)。
這些dummy cell 是除了是因應電路中的對稱性,另外也是為減少製程變動,造成該
元件的不匹配(mismatch)。
提醒一點,這些dummy device不建議你讓它們的電位是浮動的(floating),因為你無法
預料這些dummy device在製作過程中,會不會發生短路的情況,造成漏電流(leakage
current)。當然啦,你若要它們空接也是可以,但要嘛就全部,不要某幾根接電位。
一般而言,DRC要捉出這些電位floating的訊息才對。
另外,你也可以將這些dummy device當成option來用,作為增加電阻值的用途。
最後,若是0.35um以上的製程,基本上是可以不用放,可以減少空間,0.18um, 0.13um
可能就要視情況考慮。0.09um以下若不放,那就可真的會出問題。
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