Re: [問題]Why dummy fingers placed in both side …

看板Electronics作者 (水精靈)時間15年前 (2010/10/13 00:17), 編輯推噓0(000)
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※ 引述《erthe4 (er)》之銘言: : 小弟自修類比IC 我閱讀Martin's analog integrated circuit design中提到 : 使用resistor必須要在外部增加2 dummy fingers for the proximity/same environment : 這一點小地感到疑惑 為什麼要dummy fingers可以確保proximity? 底下的推文已經提到重點了。 在曝光/顯影/蝕刻時,你並不知道兩旁的finger在經過這些製程之後,是不是跟中間 的一樣。如果不是,那整條電阻值就會有異動,特別是用在需要精準的電路設計 如,能隙參考電路(band-gap reference circuit)。 這些dummy cell 是除了是因應電路中的對稱性,另外也是為減少製程變動,造成該 元件的不匹配(mismatch)。 提醒一點,這些dummy device不建議你讓它們的電位是浮動的(floating),因為你無法 預料這些dummy device在製作過程中,會不會發生短路的情況,造成漏電流(leakage current)。當然啦,你若要它們空接也是可以,但要嘛就全部,不要某幾根接電位。 一般而言,DRC要捉出這些電位floating的訊息才對。 另外,你也可以將這些dummy device當成option來用,作為增加電阻值的用途。 最後,若是0.35um以上的製程,基本上是可以不用放,可以減少空間,0.18um, 0.13um 可能就要視情況考慮。0.09um以下若不放,那就可真的會出問題。 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 61.64.225.242
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