[問題] 請教有關於多層膜反射率的計算
最近需要再silicon wafer上coating sio2/tio2 的mutilayer
希望反射率可以達到99%以上
但是對於複雜的轉換公式一直看不懂...(我是化學系畢業的)
想請問一下板上強者
我知道他們的折射率 但我要如何去計算個別的厚度 和我需要幾對sio2/tio2呢?
在知識網上有看到 解釋如下.....
利用兩不同介電常數的材料來達成全反射的功能。
材料一：折射率為n1，厚度為:t1
材料二：折射率為n2，厚度為:t2
利用干涉原理，使經過材料界面的光，反射至最初入射面的相位與入射光的相位相等，此時在最初入射面的所有波的疊加為完全建設性干涉，因此入射光全部被反射。
為了滿足建設性干涉條件：n1*t1+n2*t2=500nm/2
只要n1,t1,n2,t2可以滿足上式，就可以利用多層膜的方式來達成全反射，但n1不能等於n2，如果n1=n2則沒有反射回饋的機制，就不會有完全建設性干涉的情形發生，也就不會有全反射發生。
舉例：
n1=1.5, t1=83.33333nm
n2=2.0, t2=62.5nm
大約5對n1/n2的結構就可以達到95%以上的反射
問題一: 我怎麼知道厚度要如何選擇呢?
問題二:"大約5對n1/n2的結構就可以達到95%以上的反射" 他是怎麼算的呢???
不好意思 問題可能很白癡 請大家教教我 謝謝了!!
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