[問題] TiO2 and Al2O3

看板Electronics作者 (找到出路)時間16年前 (2009/12/09 19:16), 編輯推噓0(000)
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想請問ㄧ下這兩種材料 用E-gun去鍍的話品質會不會很差 跟sputter or sol-gel比(TiO2) 跟ALD or sputter比(Al2O3) 想再問ㄧ下一般想鍍薄薄ㄧ層Al2O3 都是用哪一種方法 ALD哪裡可以借得到(台北台大佳) 謝謝 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.112.102.175
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