[問題] 石英震盪器工作原理

看板Electronics作者 (舉起你的左手說hi)時間16年前 (2009/12/01 18:49), 編輯推噓0(0推 0噓 1→)
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請問有誰知道薄膜量測時 用石英震盪器(片)的來量測film厚度的工作原理嗎? 自己google過 可是卻無法融會貫通 為何可用有"壓電"性質的石英 可以量測film的厚度? 當中石英的壓電特性 如何與厚度量測 關聯呢? 可以以最簡單的方式幫我解惑一下嗎 謝謝 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 112.104.52.141
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印象中 是靠共振頻率的改變 所以要知道膜的參數
12/02 18:11, 1F
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