[問題] sputter技術

看板Electronics作者LScouple (找到出路)時間16年前 (2009/10/14 12:36)推噓0(0推 0噓 0→)

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想請問ㄧ下我想在一個si wafer上(含10um深,寬度0.2um)奈米線結構用sputter鍍上ZnO 300nm 有辦法完整包覆不穿破嗎?ZnO下得去奈米線的邊緣嗎? 謝謝 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.112.102.175

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