[問題] Al和si 歐姆接觸

看板Electronics作者missing0315 (zzzz)時間16年前 (2009/09/30 22:16)推噓0(0推 0噓 0→)

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想問一下 Al電極作在矽晶片上如果要形成歐姆接點的話應該要經過退火的程序想問一下退火的時間和溫度大概是多久用高溫爐或是ＲＴＡ是否不同升溫速度大概要少 Al大概鍍多厚差不多謝謝 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 218.168.75.234

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