[問題] Ohmic contact的金屬是怎麼得知的
半導體跟金屬為了有很好的ohmic contact,所以會選work function
跟fermi level適當的金屬。
但也常會用到兩層或以上,好比p-GaN會選Ni/Au, n-GaN選Ti/Al/Ti/Au,
或是合金,像 p-GaAs 用 金鍺鎳/金。
想問,像這類兩層以上或合金的work function 是怎麼計算的?有哪本
書有提到呢?感謝!
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