請問製程為什麼metal有width的上限

看板Electronics作者 (茄子)時間18年前 (2007/10/08 20:28), 編輯推噓3(3推 0噓 2→)
留言5則, 3人參與, 最新討論串1/1
如題 就像pad很大DRC可以過 但一般routing的metal就有width的上限 請問是為什麼呢？ metal width上限這回事在製做上有什麼困難嗎？ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.112.48.130 ※ 編輯: eggplant 來自: 123.192.179.64 (10/08 22:36)
推
10/08 23:13, , 1F
Stress issue, metal vs. oxide adhesion 不夠.
10/08 23:13, 1F
推
10/09 03:27, , 2F
還有一個就是metal density的限制, routing layer需要CMP
10/09 03:27, 2F
→
10/09 03:27, , 3F
pad在最上層不用CMP, 做多大都沒人管你 :P
10/09 03:27, 3F
→
10/09 03:28, , 4F
CMP是指chemical mechanical polish, 密度和polish速率有關
10/09 03:28, 4F
推
10/09 10:08, , 5F
感謝啊, 豁然開朗 0rz...
10/09 10:08, 5F
‣ 更多 eggplant 的文章
文章代碼(AID): #172YA6w1 (Electronics)