[討論] 光阻混合比

看板Electronics作者 (epson440)時間18年前 (2007/06/25 11:13), 編輯推噓1(1推 0噓 1→)
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請問各位大大 你們在做Coating時 光阻是否都有做稀釋？ 我所使用的光阻是AZ10XT : EBR(thinner) =1　:　3.5 是否太稀了？　還是比例不對　 謝謝回答 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 61.216.171.68
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06/25 12:57, , 1F
我光阻是用Spray coating的方式
06/25 12:57, 1F
推
06/26 19:19, , 2F
這種東西要自己試參數 因為跟曝光之後的解析度都有關係
06/26 19:19, 2F
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