[請益] 通道效應

看板Electronics作者yammy1201 (@^_____^@N)時間17年前 (2007/02/05 09:01)推噓0(0推 0噓 0→)

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為了避免離子佈植時的通道效應.. 其中一個方法是在表面製作一個非晶矽的薄層.. 請問一下利用離子佈植的方法製作此薄層所用的離子源該選用什麼離子?三價或五價的離子當離子原有什麼差別嗎? 謝謝...^^ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 59.113.66.13

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