[問題] 請推薦半導體製程的書

看板Electronics作者 (倫)時間19年前 (2007/01/26 02:20), 編輯推噓1(103)
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自己手上有莊達人的”VLSI製造技術” 但是有些製程的東西還是沒在裡面查到 想請問一下可以推薦寫的比較詳細比較好的製程的書嗎? 盡量是中文的(或者是有中文版的) 感謝喔^^ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 122.124.1.150

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半導體製程技術導論 Hong Xiao原著/羅正忠,張鼎張譯
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剛剛才發現置底文裡面也有推這本...
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01/27 20:35, , 4F
Silicon VLSI Technology by James D. Plummer .....
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文章代碼(AID): #15kFK2Wl (Electronics)