[問題] 請推薦半導體製程的書
自己手上有莊達人的”VLSI製造技術”
但是有些製程的東西還是沒在裡面查到
想請問一下可以推薦寫的比較詳細比較好的製程的書嗎?
盡量是中文的(或者是有中文版的)
感謝喔^^
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
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