[問題] 請問一下磊晶機台的差異?!

看板Electronics作者 (ABCD^^"DCBA)時間19年前 (2007/01/06 00:26), 編輯推噓2(2推 0噓 0→)
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請問一下MOCVD和HVPE對於可否量產的差異在哪裡呢?? 稍微看過資料只知道HVPE磊晶的速度也相當快 但是為什麼沒辦法跟MOCVD一樣導入量產呢?! 思乎有一些國立大學有再研究HVPE 是否具有前景呢?? 知道的高手能否指點一下 感謝~^^ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 220.132.42.173
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01/10 23:53, , 1F
磊晶品質有差吧，MOCVD較好！
01/10 23:53, 1F
推
09/26 18:51, , 2F
MOCVD很貴ㄚ..
09/26 18:51, 2F
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