[請益] 有關Si substrate的蝕刻率

看板Electronics作者AlanFan (小又乖乖我去上課)時間20年前 (2005/12/26 11:32)推噓0(0推 0噓 0→)

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想請問一下使用Ar去蝕刻Si substrate的蝕刻率效果如何? 是很容易蝕刻還是不容易呢?? 蝕刻率大概可以到那個等級?幾個nm?? 知道的人可以跟我說一下嗎?感謝!! -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.114.120.222

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