[請益]高熵材料有作為EUV光阻劑材料的潛力嗎？

看板Chemistry作者 (我被外星人綁架了)時間4年前 (2019/08/08 03:20), 編輯推噓1(1推 0噓 1→)
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新一代光阻劑目前趨勢是朝metal containing resist發展，大概就是日本那幾家廠商的專 利，主流的CAR應該已經到半導體製程極限了 好奇問一下，高熵金屬材料有作為EUV光阻劑的潛力嗎？高熵合金氧化物的研究已經滿多的 ，但關於光刻製程應用方面的討論好像很少？ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 114.40.105.108 (臺灣) ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Chemistry/M.1565205649.A.C3B.html
推
08/08 11:49, 4年前 , 1F
非這個領域好奇問一下，PR加金屬或含金屬的PR會帶來什麼優
08/08 11:49, 1F
→
08/08 11:49, 4年前 , 2F
點呢?
08/08 11:49, 2F
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