[實驗] 如何在Cr上長較厚的Cr oxide

看板Chemistry作者 (depot123 ffsf)時間9年前 (2015/06/10 18:44), 編輯推噓1(1推 0噓 2→)
留言3則, 1人參與, 最新討論串1/1
我的silicon wafer上面有Cr的seed layer, Cr在air會自然生成chromium oxide, 但是 是非常薄的一層, 有人知道要如何使這層chromium oxide變厚嗎？ 謝謝 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 1.169.194.233 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Chemistry/M.1433933069.A.BC6.html
推
06/10 20:07, , 1F
室溫下的成長嗎?
06/10 20:07, 1F
→
06/10 20:07, , 2F
還是要用氣象沉積? 另外你是要往下沉積還是往上沉積
06/10 20:07, 2F
→
06/10 20:10, , 3F
最簡單的方法 就用物理氣象沉積鍍Cr 然後通氧加溫
06/10 20:10, 3F
‣ 更多 sean25059199 的文章
文章代碼(AID): #1LU1KDl6 (Chemistry)