[實驗] ZnO與LNO蝕刻選擇性
幫朋友代PO~
小弟想請教各位大大高手
目前在做微橋結構的研究
由於電極是LNO(LaNiO3)犧牲層是ZnO
想請教各位大大高手們有什麼蝕刻液可以蝕刻ZnO但卻不會影響LNO的嗎?
目前嘗試過HCl、H2PO4、FeCl3 都不行
感恩~
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