[問題] 選擇性蝕刻
各位版友好:
小弟有個問題請問
有關於一個Al 跟Al2O3(氧化鋁)的選擇性蝕刻
也就是想移除氧化鋁但又不損耗鋁的結構
在下想請問
是否有人知道有其化學溶劑可以作到
或者該去翻閱哪本書或哪裡找尋資訊
若有違版規自D
謝謝
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