請問有關於TMAH(四甲基氫氧化氨)的問題

看板Chemistry作者ziyi (ziyi)時間17年前 (2007/01/04 15:56)推噓0(0推 0噓 0→)

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在半導體製程中常使用的非等向性蝕刻液TMAH 目前已知道對矽與二氧化矽的蝕刻有高選擇比但不知道它對哪些金屬較不易蝕刻或者說對矽與哪種金屬有較高的選擇比不知道哪位大大可以幫小弟解答感恩~ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.120.105.46