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討論串[問題] 請教一下如何量測高電阻率的薄膜
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#1
[問題] 請教一下如何量測高電阻率的薄膜
推噓3(3推 0噓 0→)留言3則，0人參與, 最新作者twkscat (@@)時間15年前 (2008/09/09 12:29), 編輯資訊
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大家好. 小弟目前遇到一個問題. 用三用電錶,四點探針以及霍爾量測無法量到我的ZnO薄膜. 不知道還有什麼其他方法可以量測. --. ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc). ◆ From: 140.116.175.81.
#2
Re: [問題] 請教一下如何量測高電阻率的薄膜
推噓0(0推 0噓 0→)留言0則，0人參與, 最新作者cellowu (要操才會強)時間15年前 (2008/09/09 16:27), 編輯資訊
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我的ZnO 是用sputter 長上去的. target 為AZO 97% ZnO 3% Al. 長出來的膜厚為500nm 這樣用三用電錶量就量的出來電阻了. (四點探針還沒做)以上是我的經驗給你參考一下. --. --. ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc). ◆ From: 140.118
#3
Re: [問題] 請教一下如何量測高電阻率的薄膜
推噓0(0推 0噓 0→)留言0則，0人參與, 最新作者twkscat (@@)時間15年前 (2008/09/09 21:15), 編輯資訊
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AZO薄膜我也鍍過，薄膜本身就很好測. 但是過高電阻的i-ZnO薄膜就沒辦法了. 我都試過了. --. ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc). ◆ From: 140.116.175.81.
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