[問題] 氮化矽 與 二氧化矽 化學反應
小弟遇到一個很奇怪的現象
底層為玻璃
第一層薄膜為二氧化矽
第二層薄膜為氮化矽
第三層薄膜為二氧化矽
拉去做高壓高溫蒸氣實驗時>三天
從顯微鏡下發現有很多圓蘊散布四周
有些還有孔洞
送縱切片分析
由上而下三->底層方向來看
分兩類
有孔洞
第三層二氧化矽有像火山口的孔洞
第二層氮化矽由火山口延伸左右被掏空
第一層二氧化矽看起來沒影響
無孔洞
第三層二氧化矽膜厚變厚，有擠壓現象，把洞孔塞住並且也向第二層氮化矽延伸
第二層氮化矽一樣有延伸左右被掏空的現象
第一層二氧化矽看起來也變厚向第二層擠壓
一般來說氮化矽應該比二氧化矽難以蝕刻
是什麼化學反應可能導致此現象?
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