[問題] 氣體流量控制器顯示跳動
各位大大好
實驗室裡使用氫氣鋼瓶(上有調壓閥)然後連結精密流量控制器與BROOKS的流量器100sccm
目前的問題是,當我從控制器調整流量為100sccm時,左邊顯示實際流量總是會一直跳數字
,約+-20上下。
但是如果我是設定流量為10sccm時就不會有數字跳動問題。
目前想到可能的癥結點有三個:
1.精密流量器因為年久失修所以大流量會不準
2.鋼瓶調壓筏開太小(但我不確定要開多少,我調壓閥單位是psi)
3.氣體輸送管路的螺絲有鬆脫
請大大幫幫忙QAQ
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