[問題] 氣體流量控制器顯示跳動

看板ChemEng作者 (CY)時間5年前 (2019/01/24 11:04), 編輯推噓2(205)
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各位大大好 實驗室裡使用氫氣鋼瓶(上有調壓閥)然後連結精密流量控制器與BROOKS的流量器100sccm 目前的問題是,當我從控制器調整流量為100sccm時,左邊顯示實際流量總是會一直跳數字 ,約+-20上下。 但是如果我是設定流量為10sccm時就不會有數字跳動問題。 目前想到可能的癥結點有三個: 1.精密流量器因為年久失修所以大流量會不準 2.鋼瓶調壓筏開太小(但我不確定要開多少,我調壓閥單位是psi) 3.氣體輸送管路的螺絲有鬆脫 請大大幫幫忙QAQ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 140.125.43.86 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/ChemEng/M.1548299085.A.8BD.html

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流量計有精準範圍 說明書會寫
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Brooks 的 MFC 一般可用壓差範圍是 5~50
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psi, 100 sccm 前後壓差有個 10 psi 就
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足夠
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如果你系統內是常壓 鋼瓶出口壓力不要超
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過 2 kg/cm^2
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或 30 psi
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