[製程] 可以放入PECVD的耐熱夾
最近請別人幫忙代工PECVD鍍SiNx
自己對於CVD完全沒背景
鍍膜時需要使用一片不鏽鋼的遮罩
固定在1mm厚的玻璃基板上
用以定義鍍出來的SiNx面積
製成溫度攝氏300度
通入氣體有SiH4 以及氨氣
但是superuser不讓我使用真空耐熱膠帶固定遮罩
已試過用鋁箔包住遮罩以固定住->無法
用不鏽鋼的長尾夾(九成九買的)，superuser也不准
想先度整層膜再用負光阻以及遮罩定義出面積，也因爲自己家的光阻只耐100度，而熱磷酸有兩百度（還是其實不用加熱到這麼高溫）
現在superuser是說如果我可以找到化學用品的不鏽鋼夾子就可以放進去，她說九成九買的夾子就是非實驗器材，就是不能放
想請問大大們有沒有好的想法
感謝
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