[材料] 如何利用SEM拍Si wafer的橫截面

看板ChemEng作者 (QQ)時間11年前 (2012/11/22 17:11), 編輯推噓2(2推 0噓 1→)
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最近要拍Si wafer的橫截面 中間還要經過研磨拋光及蝕刻的動作 我該如何將我的sample放置於holder上? -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.129.43.49
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熱冷鑲埋?
11/22 17:50, 1F
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11/24 14:24, , 2F
如果不會和樹脂反應就用冷鑲吧
11/24 14:24, 2F
推
11/28 13:39, , 3F
每家SEM廠商都有出90度的載台吧
11/28 13:39, 3F
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