[問題] ITO濕蝕刻

看板ChemEng作者 (看破世界 世界是黑暗的)時間13年前 (2012/10/08 17:00), 編輯推噓0(009)
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最近需要做這件事,我需要把ITO薄膜做出粗糙度, 像是大陸桂林那種石灰岩地形,一根一根的, 但是濕蝕刻的方是越簡單越好,不要碰黃光, 請問有推薦的碩論有實驗步驟可以參考嗎? 現在有點無頭蒼蠅,不知如何是好, 咪聽也快開天窗了。 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.125.31.215

10/09 21:04, , 1F
要做線路圖案才要碰黃光吧 做粗糙度
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10/09 21:06, , 2F
就選擇適當的蝕刻液泡一泡就好
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10/09 22:57, , 3F
濕蝕刻式等向性的,ITO上面又沒光阻你認為呢
10/09 22:57, 3F

10/10 17:46, , 4F
isco的意思是只會造成ITO薄膜變薄
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而不會粗糙嗎?
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10/10 20:29, , 6F
沒錯
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10/10 20:31, , 7F
讀碩士不是要自己找文獻嗎? 你這樣太.....
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10/10 20:40, , 8F
還是會變粗糙 做AFM就看得出來
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10/10 20:41, , 9F
不然可以用蝕刻膏看看 或許更有效果
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文章代碼(AID): #1GSfP552 (ChemEng)