[材料] 使用物理氣相沉積法濺鍍一層碳膜~但如何改善批覆性??
目前我在做用物理氣相沉積法在304不鏽鋼
沉積一層碳膜!
是用電漿去打碳靶材然後沉積在不鏽鋼上面~
然後做臨場退火去改變碳的結構!!
目的是為了要改善導電性~
目前導電性是有改善了~
但抗腐蝕性沒有太大的改善XD
好像跟批覆性有關係~
就是碳跟不鏽鋼之間抓不牢
疑似是表面粗糙度造成的
所以有考慮用乾蝕刻增加表面粗糙度~
但以前完全沒有做到這一塊過~
完全沒有有關增加粗糙度的參數
不知道有沒有人做過類似增加粗糙度的實驗?
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