[問題] HF

看板ChemEng作者 (youmissi)時間13年前 (2011/07/07 09:27), 編輯推噓2(2推 0噓 4→)
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請問一下 氫氟酸溶液會吃金屬鎳(膜)或者金屬鎢嗎? 一般而言 氫氟酸溶液大多當作酸洗液 是用來去除什麼物質呢? 油性物質嗎? 謝謝回答 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 113.229.12.134
推
07/07 09:47, , 1F
剛好我再做這一塊,一般純鎳與HF的反應溫度在400C以上
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07/07 09:48, , 2F
不過因為鎳氧化速率很快,放在空氣中很快形成氧化膜
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我查過很多資料,幾乎找不到HF+NiO
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07/07 09:59, , 4F
HF常用來洗Si晶圓,為的是去除表面的氧化物質
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07/07 11:34, , 5F
鎳膜在常溫下與HF幾乎不反應,80C以下是安全範圍
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推
07/07 17:48, , 6F
etch SiO2
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