[材料] 請益有關KOH的蝕刻技巧

看板ChemEng作者 (hedonist)時間15年前 (2011/02/03 22:28), 編輯推噓5(5推 0噓 9→)
留言14則, 5人參與, 最新討論串1/1
各位先進好@@ 小弟在專題上遇到一個困難，想跟版上的先進討教一下 就是我想要作出像這張圖的渠道 http://ppt.cc/leVB 就是圖中綠色被KOH吃掉的等向性蝕刻(我是要吃SiO2) 我自己試過用膠帶貼住不要被蝕刻的區域丟到KOH的溶液中 結果膠帶會跟SiO2分離，最後是整塊SiO2浸在溶液中 我是想問阿，paper都寫利用KOH吃出這種渠道狀的結構 但我想知道除了利用KOH當蝕刻液外，還需要搭配甚麼方法才能吃出這樣的結構？ 我有猜是利用光阻來擋住不要被蝕刻的部分，但是這樣是不是就要作一個光罩了@@? 請版上先進解答小弟的疑惑 並祝新年快樂！ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 114.37.172.219
推
02/04 11:19, , 1F
試試看用silicone感壓膠做的膠帶
02/04 11:19, 1F
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02/04 11:20, , 2F
一般壓克力感壓膠黏不住以矽為主成分的被貼物
02/04 11:20, 2F
請問有推薦的牌子嗎@@? 因為我應該會把SiO2放到85度的KOH溶液中，然後我剛才查了wiki的介紹 他說一般PSA tape是在室溫下使用的，所以我怕他無法耐高溫(且耐鹼) 所以想問有沒有推薦的牌子，我去查詢一下這樣 謝謝你的回答~~ ※ 編輯: hedonist891 來自: 140.114.253.80 (02/04 15:51)
推
02/08 13:09, , 3F
3M有一種綠色的膠帶，可耐酸鹼，不過不便宜~
02/08 13:09, 3F
推
02/08 22:32, , 4F
圖中綠色是Silicon，這是"非等向性蝕刻" 要蝕刻除了KOH
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還有TMAH or EDP, 抗酸鹼膠帶及光阻可以不用試了, 結果
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02/08 22:34, , 6F
會是膠帶泡在KOH也不會爛掉,但蝕刻失敗，光阻泡下去也
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是污染蝕刻液而已沒有用..
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土黃色是SiO2或是Nitride, 蝕刻穿通常就是Nitride
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專題生下一道光罩應該不過份,至少是比較正常的作法○rz
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最後 要吃SiO2?! 確定有晶格嗎
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推
02/08 23:22, , 11F
那叫 酸鹼膠帶
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推
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那叫 耐酸鹼膠帶 或 抗酸鹼膠帶 吧...報價單還沒看到過
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酸鹼膠帶 ○rz ...
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02/16 10:28, , 14F
其實塑膠光罩很便宜......
02/16 10:28, 14F
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