[問題] 熱膨脹係數

看板ChemEng作者 (麥子)時間15年前 (2010/07/01 16:23), 編輯推噓0(0推 0噓 3→)
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我遇到一個問題 我要sputtering 兩層薄膜 但在退火的完以後膜裂掉了 結構是lsmo/pt/TiN/Ti/SiO2/Si 退火速率每分鐘20度 lsmo的熱膨脹約12 pt約9 這樣子為什麼退火完以後薄膜還會裂掉呢?? -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 210.240.249.242
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07/01 17:40, , 1F
幾度? 熱應力太大吧
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07/01 18:43, , 2F
回樓上~600度
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07/01 19:04, , 3F
升溫速率慢一點? 或是取出時溫差太大?
07/01 19:04, 3F
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