[問題] 薄膜熱應力

看板ChemEng作者 (RORO一定要幫我)時間14年前 (2010/06/20 06:37), 編輯推噓1(1推 0噓 4→)
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基板與薄膜熱膨脹係數差異在冷卻到室溫時會造成熱應力 此熱應力大小與薄膜厚度是無關的 但膜厚越厚也會造成bending moment越大 小弟的問題是 熱應力在不同膜厚的狀況下 會造成晶格常數有些微差異而能夠在XRD中觀察出來嗎 或者小弟觀念上有錯誤 希望板上各位先進不吝指教 能幫小弟解惑 謝謝~~~ -- -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 134.208.4.29 ※ 編輯: narutoo 來自: 134.208.4.29 (06/20 06:38) ※ 編輯: narutoo 來自: 134.208.4.29 (06/20 06:39) ※ 編輯: narutoo 來自: 134.208.4.29 (06/20 06:40)
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06/21 12:25, , 1F
可以阿，不過你的光源要夠強夠乾淨，去同步借一條線用吧。
06/21 12:25, 1F
推
06/21 22:47, , 2F
我記得有應力的話XRD的峰值會稍微偏移 (某篇PAPER)
06/21 22:47, 2F
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06/21 23:16, , 3F
所以熱應力在不同"膜厚"的確會有不同影響嗎
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06/23 00:02, , 4F
抱歉，"些微"差異的話，可能要用FIB切試片看TEM。
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06/23 11:36, , 5F
要看是不是均勻變形 均勻的PEAK會偏移 不是的話PEAK 會變寬
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