[問題] 請問sputtering coating 跟spin coating

看板ChemEng作者時間17年前 (2009/02/13 17:48), 編輯推噓1(1推 0噓 1→)
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請問一定要用sputtering而不能用spin coating的理由有哪些啊？ 又，有沒有數據統計過這兩種方法的uniformity的差異？ 還有兩種方法被應用的厚度範圍大概在哪？ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 118.169.200.202
推
02/13 21:46, , 1F
第一種 可以得到較純的相呀
02/13 21:46, 1F
→
02/13 21:47, , 2F
前項為物理 後項化學呀
02/13 21:47, 2F
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