[材料] 吃掉下基板SiO2方法?

看板ChemEng作者 (Arvin)時間17年前 (2008/11/05 23:25), 編輯推噓4(4推 0噓 1→)
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請問一下各位前輩 小弟目前在做專題碰到一個問題 就是我已經在晶圓表面上鍍了鉑跟TEOS還有一層鋁 那請問有什麼方法 可以把晶圓背面的SiO2吃掉後再鍍鋁當下電極 而不影響到表面已處理好的薄膜 氫氟酸可行嗎? -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 61.230.217.19
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先摳單面用光阻類的材料保護應該可行吧, 很多雙面線路
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11/06 00:40, , 2F
都這樣做,不然只吃SiO2的蝕課液很不好找
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如果是sputter的話，好像有看過鍍在NaCl上，
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之後再把NaCl泡到水中溶解就可以得到要的膜了
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有人用棉花棒沾HF 再沾在背面吃掉SiO2
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