[問題] 關於量測膜厚

看板ChemEng作者 (Joseph)時間15年前 (2008/10/01 16:16), 編輯推噓9(9推 0噓 7→)
留言16則, 10人參與, 最新討論串1/1
小弟有一片試片請人幫我鍍了Pt薄膜 需要約3nm左右的厚度 我想請問各位前輩們 除了用阿法-Step量測膜厚之外... 還有哪些方法可以量測的出來 感謝大家的幫忙 ^ ^!! -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 203.68.223.111
推
10/01 16:37, , 1F
X-ray Reflectivity
10/01 16:37, 1F
推
10/01 17:58, , 2F
AFM
10/01 17:58, 2F
推
10/01 20:04, , 3F
我知道的有1.x-ray同一樓 2.表面粗造度儀
10/01 20:04, 3F
→
10/01 20:04, , 4F
我也想知道還有啥好用的工具@@?
10/01 20:04, 4F
推
10/01 21:21, , 5F
SEM
10/01 21:21, 5F
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10/01 21:43, , 6F
我只知道AFM能看表面粗糙度，要怎樣才能看出膜厚?Thx~
10/01 21:43, 6F
推
10/02 00:34, , 7F
不知道 橢圓測厚儀(Ellipsometer) 能不能滿足你的需求?
10/02 00:34, 7F
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10/02 00:35, , 8F
是我的指導教授曾經提到過的儀器，未來我可能要去別校借用
10/02 00:35, 8F
推
10/02 00:51, , 9F
橢偏儀對於3nm的厚度 似乎有點疑慮 我記得我的super user
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10/02 00:53, , 10F
好像提過10nm以下會不太準..雖然我也有量5.6nm左右厚度
10/02 00:53, 10F
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10/02 08:56, , 11F
a-step測不出3 nm高度差...用TEM吧!
10/02 08:56, 11F
推
10/02 09:55, , 12F
AFM是要看有鍍沒鍍的交界，不然就是刮出傷口。
10/02 09:55, 12F
推
10/02 10:26, , 13F
我用過Ellipsometer測過nm級的厚度
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10/02 10:27, , 14F
我記得好像可以到0.1nm都測得到
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10/02 10:28, , 15F
前提是你的parameter要夠精確
10/02 10:28, 15F
推
10/02 14:12, , 16F
Ellipsometer是一定可以，但是受限於 "透明塗膜與基材"。
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